
- L’analyseur Trace 3 permet la mesure de traces au ppb d’humidité dans les gaz
Contrôle de la qualité des gaz pour la fabrication des semi-conducteurs
Mesure dans les ASU, UHP
Mesure dans le vide
Optimisation des process
Mesure en sortie de sécheur
Caractéristiques
Résolution de 1 ppb V
Gamme jusqu’à 3000 ppb V permettant de vérifier les phases d’assèchements des process
Haute stabilité, réponse rapide avec un système d’ajustement et de séchage du capteur unique
Faible coût total de possession
Capteur régulé en température avec système de séchage
Haute sensibilité
Sortie 4-20mA linéaire
Réponse rapide y compris lors des phases de récupérations suite à une forte excursion d’humidité
Utilisable dans plusieurs gaz sans la nécessité de recalibrer
Compatible pour les gaz comme : N2, H2, He, Ar, Xe, CO2, O2 et mélange non réactif
Petit (261 mm x 109 mm x 50 mm), simple à utiliser et à installer
Alimentation : 12 -24 VDC, 3W
Graphique montrant la réponse du MicroView Mini Trace 30 face à un hygromètre à technologie CRDS (Cavity Ring Down Spectroscopy)
Plusieurs pics de 3 ppmV d’H2O ont été injectés durant 3 minutes.
La courbe du haut est un CRDS
La courbe du bas est un MicroView Mini Trace 30
A vous de juger !
